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(1)高精度超精密加工技术的**目标是“移动原子”，实现原子级精度的加工。
(2)大型化研制各种大型超精密加工设备，以满足航天航空等领域的需要，如美国研制的加工直径为2.4m-4m的大型光学器件超精密加工机床。
(3)微型化向微型化发展，以适应微型机械、集成电路等发展的需要。图3.29所示为利用微细加工技术制作的微型机械零件。
(4)光机电一体化、加工检测一体化。
(5)新工艺与复合加工技术面对越来越多的高硬度、高脆性的难加工材料以及低刚度的零件，激光加工、粒子束加工等新工艺将会得到更多的发展和应用。
综观国内外在超精密加工及纳米加工技术方面的发展现状及发展趋势，尽管我国在这一技术领域取得了一定进展，但与国外**水平差距还很大，急需大力加强这项技术的研究和开发，需重点突破的相关关键技术有：超精密加工机理的研究，加工机理的研究往往更具有突破性；超精密加工磨具及刃磨技术的研究；超精密加工装备技术的研究；超精密测量技术及误差补偿技术。机械加工http://www.yumao.com/sell/jixiejiagong-c829-1.html